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高纯氮气

高纯氮气是指纯度高于 99.999% 的氮气,是工业生产和科研领域中常用的特种气体 分子式:N₂ 分子量:28.013 外观:常温常压下是无色、无味、无臭的气体;液态时为无色透明液体,固态时为雪状固体 熔点:-209.86℃,沸点:-195.8℃ 密度:标准状况下气体密度为 1.251g/L,和空气密度接近 溶解性:极难溶于水,20℃时水中溶解度仅为 15.4mL/L

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主要用途

  1. 电子半导体领域
    是半导体芯片制造过程中的核心保护气和吹扫气,用于晶圆的沉积、蚀刻、离子注入等工艺:
    • 可以防止晶圆在高温加工过程中被氧化,避免芯片出现缺陷
    • 也可以用于吹扫设备内部的杂质,维持生产环境的高洁净度,一般要求氮气纯度达到 99.9995% 以上
  2. 科研实验室领域
    • 作为保护气,用于惰性环境的搭建,比如在化学实验中,保护易被氧化、易与空气反应的试剂或者样品
    • 作为气相色谱分析的载气,或者质谱分析的辅助气体
    • 在低温物理实验中,液态高纯氮气可以作为低温冷却介质
  3. 食品医药领域
    • 食品工业中,作为食品的填充保护气,用于薯片、奶粉、坚果等食品的包装,防止食品氧化变质、滋生细菌,延长保质期,要求氮气纯度达到 99.99% 以上
    • 医药领域中,用于药品的生产环境保护,或者作为药用辅料,用于一些注射剂的灌装保护
  4. 工业制造领域
    • 焊接和切割工艺中,作为保护气,用于不锈钢、铝合金等特种金属的焊接,防止金属在高温下氧化
    • 冶金工业中,用于金属的退火、淬火等热处理工艺,保护金属不被氧化
    • 也可以用于锂电池的生产过程,保护电极材料不被氧化

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